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簡(jiǎn)要描述:晶圓 2D/3D AOI 檢驗顯微鏡進(jìn)料的wafer,經(jīng)過(guò)正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,進(jìn)行檢查和分選。操作員不接觸wafer,避免了污染和損傷wafer。
詳細介紹
進(jìn)料的wafer,經(jīng)過(guò)正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,進(jìn)行檢查和分選。操作員不接觸wafer,避免了污染和損傷wafer。 |
晶圓 2D/3D AOI 檢驗顯微鏡性能描述:
標準配備1個(gè)Load port,單臂翻轉Robot,Pre-aligner,目檢臺和顯微鏡。
兼容8寸和12寸wafer。
標準load port可以對應FOUP,AutoFOSB自動(dòng)開(kāi)蓋,具備mapping功能。
高精度運動(dòng)機構,低噪音,低塵,無(wú)需供油。
觸摸屏操作,界面友好。
晶圓 2D/3D AOI 檢驗顯微鏡對應GEM300,采用SEMI標準軟件。
公司為您提供全自動(dòng)晶圓2D/3D AOI光學(xué)檢驗機的參數、價(jià)格、型號、原理等信息,全自動(dòng)晶圓2D/3D AOI光學(xué)檢驗機產(chǎn)地為日本、品牌為--,型號為GBIT-WA-100,價(jià)格為面議,更多相關(guān)信息可咨詢(xún),公司客服電話(huà)7*24小時(shí)為您服務(wù)。
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