uf200探針臺是一種用于生物學(xué)領(lǐng)域的電子測量?jì)x器,專(zhuān)為通用邏輯裝置而設計,支持對8英寸及8英寸以下晶圓進(jìn)行自動(dòng)測試,支持200um薄片的測試,測試溫度范圍從室溫到150度。它不僅繼承了UF200的基本概念,同時(shí)進(jìn)一步采用了新技術(shù)的架構??梢蕴峁┚AOCR自動(dòng)識別,自動(dòng)控制、與測試機聯(lián)動(dòng)對8英寸及8英寸以下晶圓進(jìn)行自動(dòng)測試的篩選。
一、產(chǎn)品特點(diǎn):
1、它可執行5至8英寸晶圓的傳輸與針測。
2、采用和UF2000相同的MMI。
3、多種選擇,可達成所有非業(yè)界標準種類(lèi)的晶圓針測。
4、增加生產(chǎn)量和生產(chǎn)率;
5、減少的應用程序的要求或測試時(shí)間短的大量測試成本;
6、40%-50%增進(jìn)系統的吞吐量和降低生產(chǎn)成本。
二、uf200探針臺使用方式:
1、將樣品載入真空卡盤(pán),開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。
2、使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點(diǎn),再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
4、待測點(diǎn)位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀(guān)先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針前進(jìn)少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀(guān)察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
5、確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測試設備開(kāi)始測試。

三、設備還有以下選項:
1、針測環(huán)境可接納高溫至低溫;
2、英寸晶圓探測環(huán)境;
3、樞紐型機械手臂是為了針測端而設計;
4、封裝與超薄晶圓的傳輸是經(jīng)由特殊傳輸機制;
5、SEMS是經(jīng)由特殊機制傳輸;
6、微小電流針測環(huán)境;
7、高壓電針測環(huán)境;
8、廣泛多樣的網(wǎng)絡(luò )環(huán)境;
9、探針追蹤檢查功能。