一、探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
二、特性:
1、OTS-最近的位置對正系統(光學(xué)目標對準)OTS通過(guò)對照相機相對位置的測量來(lái)保證其絕對位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來(lái)源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現了以自己為參照的光學(xué)對準系統。
2、QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統)為了有效的達到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機械轉換裝置(QPU),達到高剛性,高穩定度的接觸。
三、縱觀(guān)國內外的自動(dòng)探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類(lèi),即:以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動(dòng)探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線(xiàn)導軌結構的x-y工作臺型自動(dòng)探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養不可一概而論,應區別對待。
四、半自動(dòng)探針臺特點(diǎn):
機械手臂取放片
電動(dòng)、鍵入坐標尋位置
量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手動(dòng)探針臺
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、DriverIC量測分析
機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300